국내 포토레지스트 공정을 가속화하라! Chinachem Technology는 포토레지스트 개발 및 연구를 늘리기 위해 6억 위안의 투자를 늘렸습니다.
(Electronic Enthusiast Network / Zhang Ying 보고) 포토리소그래피 장비와 포토레지스트의 발전은 반도체 산업에서 항상 주목을 받아 왔습니다. 우리 모두가 알다시피 포토리소그래피 공정은 전체 칩 제조 원가의 약 35%를 차지하며, 시간이 많이 걸리는 공정은 전체 칩 공정의 40~50%를 차지하는 반도체 제조의 핵심 공정이다. 포토레지스트는 포토리소그래피 공정의 핵심 소모품으로 일반적으로 감광성 수지(중합제), 증감제(광개시제), 용매 및 보조제로 구성된다. 포토레지스트의 품질과 성능은 포토리소그래피 공정에 중요한 영향을 미치며, 높은 기술적 장벽으로 인해 오랫동안 해외 대형 제조사들이 독점해 왔으며 반도체 국산화에 큰 걸림돌이 되고 있다.
수십 년간의 지속적인 개발과 진보 끝에 포토레지스트는 응용 분야를 지속적으로 확장해 왔으며 많은 유형이 파생되었습니다.응용 분야에 따라 포토레지스트는 반도체 포토레지스트, 평판 디스플레이 포토레지스트 및 PCB 포토레지스트로 나눌 수 있으며, 그 기술적 장벽은 다음과 같습니다. 차례로 낮아졌습니다.
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파운더 증권에서
업계 전문가들에 따르면 현재 롱다 센시티브(Rongda Sensitive)와 퉁청청신소재(Tongcheng Cheng New Materials) 산하 베이징커화(Beijing Kehua)만이 디스플레이 분야의 주요 제조사에 양산 공급이 가능한 상태다. 업계의 최첨단 기업으로는 Dingcai, Xinyihua, Gurun Technology 및 Beyondsoft가 있습니다. 현재까지 KrF 및 ArF 포토레지스트를 일괄 공급할 수 있는 국내 제조업체는 거의 없습니다. SEMI 데이터에 따르면 몇몇 주요 일본 제조업체(Shin-Etsu Chemical, Tokyo Application Chemicals(TOK) 및 Sumitomo Chemical 포함)는 g-line/i-line, KrF, g-line/i-line의 국내 자급률이 20% 정도인 반면, KrF 포토레지스트의 자급률은 5% 미만으로 현재 국내 업체는 없다. 12인치 실리콘 웨이퍼용 ArF 포토레지스트 양산
9월 12일 저녁 Chinachem Technology의 발표에 따르면 반도체 재료 분야의 산업 배치를 촉진하기 위해 회사는 2021년 9월 11일 제8차 2021년 임시 이사회를 개최했습니다. 자회사 유상증자 제안 ", "회사의 100% 자회사의 동양개양 자본 증자 제안에 관한 제안", "동양 카이양의 Xuzhou Bokang, Dongyang Jintou, Yuan Jinqing과의 합작 투자 회사 설립 제안에 관한 제안".
이 회사는 전액 출자 자회사인 Chinachem (Dongyang) New Materials Co., Ltd.("Chinachem Dongyang")의 자본을 증자하여 총 6억 위안의 자본금을 증자할 계획입니다.
유상증자가 완료된 후 Chinachem Dongyang의 총 등록 자본금은 15억 위안으로 변경되었으며 회사의 전액 출자 자회사로 남아 있습니다. Chinachem 동양은 자체 자금으로 참여 파트너십 동양 카이양 기술 혁신 및 개발 파트너십("Dongyang Kaiyang")의 자본을 4억 5천만 위안으로 늘릴 계획입니다. 유상증자 완료 후 동양개양의 총 청약금액은 15억 위안으로, 차이나켐동양의 청약비율은 89.87%로, 연결재무제표에는 동양개양이 여전히 포함됐다.
Dongyang Kaiyang은 Xuzhou Bokang Information Chemical Co., Ltd.("Xuzhou Bokang"), Dongyang Jintou Holding Group Co., Ltd.("Dongyang Jintou") 및 Yuan Jinqing과 "합작 투자 계약"을 체결할 예정입니다. 공동으로 합작 회사 설립을 시작합니다.이 중 동양 Kaiyang은 등록 자본금 2.80백만 위안을 등록하고 지분의 40%를 보유하고 있습니다.

이미 7월 21일에 Chinachem Technology는 "Chinachem (Xiamen) New Material Technology Co., Ltd. 회사가 참여하는 파트너십에 대한 외부 투자 진행 상황에 대한 발표"를 발표했으며 여기에 언급된 적격 투자자를 이제 확인할 수 있습니다. 화웨이 허블처럼. 당시 발표에 공개된 정보에 따르면 화웨이 허블은 이번에 3억 위안을 투자했으며 투자 후 쉬저우 보캉 지분 10%를 보유하고 있다. 및 Development Partnership(Limited Partnership) Xuzhou Bokang이 24%의 지분을 보유하고 있습니다. Fu Zhiwei는 Shanghai Bokang Enterprise Group Co., Ltd.를 통해 Xuzhou Bokang의 지분 39.43%를 직간접적으로 보유하고 있으며 회사의 실제 컨트롤러입니다.