Technologies

News information

Anji Technology tham gia hội thảo công nghệ siêu quy trình mạch tích hợp

Phát hành vào : 12 thg 1, 2022

Anji Technology tham gia hội thảo công nghệ siêu quy trình mạch tích hợp
Hội thảo công nghệ siêu quy trình tích hợp vi mạch

Anji Technology tham gia hội thảo công nghệ siêu quy trình mạch tích hợp
- Điều gì đang xảy ra với công nghệ làm sạch sau khắc tiên tiến?
THƯỢNG HẢI, ngày 22 tháng 11 năm 2021 / PRNewswire / - Vào ngày 19 tháng 11, Hội thảo Công nghệ Quy trình Siêu sạch Tích hợp Mạch năm 2021 do Liên minh Đổi mới Công nghệ Vật liệu Vi mạch và Cobaxter phối hợp tổ chức đã được tổ chức thành công tại Quận Tiêu Sơn, Hàng Châu. Cuộc họp diễn ra theo hình thức trực tuyến và ngoại tuyến cùng lúc, có khoảng 80 người từ quản lý cấp cao, kỹ thuật viên và học giả từ các doanh nghiệp thượng nguồn và hạ nguồn trong chuỗi công nghiệp như sản xuất vi mạch tích hợp, vật liệu silicon, hóa chất xử lý, quang điện tử, Vật liệu CMP, vv. Tham gia cuộc họp này để thảo luận về việc kiểm soát độ sạch theo các yêu cầu công nghệ mới.

Trong hội thảo, Wang Shengli, Phó giám đốc ứng dụng sản phẩm của Công ty TNHH Công nghệ Vi điện tử Anji (Thượng Hải) ("Công nghệ Anji"), đã được mời phát biểu với chủ đề "Công nghệ làm sạch sau khi khắc trong quy trình tiên tiến". Trong bài phát biểu của mình, Wang Shengli chủ yếu chia sẻ công nghệ quy trình làm sạch cặn sau khắc khô trong các nút công nghệ tiên tiến của thiết bị logic, đặc biệt là các chỉ số kỹ thuật làm sạch và dữ liệu thực tế cần thiết để loại bỏ ướt mặt nạ cứng titan nitride. Trong triển vọng của công nghệ quy trình bán dẫn thế hệ tiếp theo, Shengli Wang đã thảo luận về những thách thức và cơ hội do vật liệu mới và kiến ​​trúc mới mang lại trong quy trình bán dẫn cho các hóa chất chức năng. Sự xuất hiện của cấu trúc GAA trong các thế hệ thiết bị logic sau này, sự ra đời của Ru và Air Gap; trong các thiết bị 3D NAND, tỷ lệ khung hình cực cao do việc xếp chồng các lớp cao hơn và sự ra đời của Molly, và trong thế hệ D1Z DRAM, Sự ra đời của vật liệu K thấp và vật liệu tụ điện mới đã mang lại nhiều cơ hội hóa học chức năng mới và đầy thách thức, đồng thời thể hiện sự hiểu biết của Công nghệ Anji và cách bố trí R&D cho các ứng dụng mới này.
1
Wang Shengli cho biết, các hóa chất điện tử ướt chức năng của Anji Technology đã được cung cấp ổn định cho các khách hàng khác nhau trong và ngoài nước trong hơn mười năm qua với số lượng lớn. Anji Technology luôn tập trung vào R&D và công nghiệp hóa chất lỏng đánh bóng CMP và hóa chất điện tử ướt chức năng.

Là một trong những công ty đi đầu trong ngành hóa chất điện tử ướt chức năng, Anji Technology đã và đang tập trung vào cả các quy trình trưởng thành trong nước và công nghệ quy trình tiên tiến nhất của chất bán dẫn quốc tế, đồng thời nghiên cứu và phát triển các công nghệ hóa chất chức năng tương ứng để đáp ứng các công ty bán dẫn trong và ngoài nước về công nghệ trưởng thành Để đáp ứng các nhu cầu khác nhau của sản xuất hàng loạt và phát triển quy trình tiên tiến, chúng tôi cam kết tìm kiếm sự hợp tác tốt hơn với khách hàng và đối tác để đảm bảo nguồn cung cấp mạnh mẽ cho ngành công nghiệp vi mạch tích hợp.