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Anji Technology ha partecipato al workshop sulla tecnologia dei super processi del circuito integrato

Rilasciare : 12 gen 2022

Anji Technology ha partecipato al workshop sulla tecnologia dei super processi del circuito integrato
Workshop sulla tecnologia dei super processi a circuito integrato

Anji Technology ha partecipato al workshop sulla tecnologia dei super processi del circuito integrato
-Cosa sta succedendo con l'avanzata tecnologia di pulizia post-incisione?
SHANGHAI, 22 novembre 2021 /PRNewswire/ -- Il 19 novembre si è tenuto con successo nel distretto di Xiaoshan, Hangzhou, il seminario 2021 sulla tecnologia di processo ultra-pulito del circuito integrato, organizzato congiuntamente dall'Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovation Alliance e da Cobaxter. L'incontro si è svolto contemporaneamente online e offline: erano presenti circa 80 persone tra alti dirigenti, tecnici e studiosi delle imprese a monte ea valle della filiera industriale come la produzione di circuiti integrati, materiali siliconici, prodotti chimici di processo, fotoresist, Materiali CMP, ecc. Ha partecipato a questo incontro per discutere il controllo della pulizia in base ai nuovi requisiti tecnologici.

Durante il seminario, Wang Shengli, vicedirettore dell'applicazione del prodotto di Anji Microelectronics Technology (Shanghai) Co., Ltd. ("Anji Technology"), è stato invitato a tenere un discorso dal titolo "Cleaning Technology After Etching in Advanced Processes". Nel suo discorso, Wang Shengli ha condiviso principalmente la tecnologia del processo di pulizia dei residui di incisione post-secco nei nodi di tecnologia avanzata dei dispositivi logici, in particolare gli indicatori tecnici di pulizia e i dati effettivi richiesti per la rimozione a umido delle maschere rigide al nitruro di titanio. Nella prospettiva della tecnologia di processo dei semiconduttori di prossima generazione, Shengli Wang ha discusso le sfide e le opportunità presentate dai nuovi materiali e dalle nuove architetture nei processi dei semiconduttori per le sostanze chimiche funzionali. L'emergere della struttura GAA nelle generazioni successive di dispositivi logici, l'introduzione di Ru e Air Gap; nei dispositivi NAND 3D, il rapporto di aspetto estremamente elevato portato dall'impilamento di strati superiori e l'introduzione di Molly, e nella generazione D1Z DRAM, l'introduzione di materiali a basso K e di nuovi materiali per condensatori ha portato molte nuove e stimolanti opportunità chimiche funzionali e ha dimostrato la comprensione e il layout di ricerca e sviluppo di Anji Technology per queste nuove applicazioni.
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Wang Shengli ha affermato che le sostanze chimiche elettroniche umide funzionali di Anji Technology sono state fornite stabilmente a diversi clienti in patria e all'estero in grandi quantità negli ultimi dieci anni. Anji Technology si è sempre concentrata sulla ricerca e sviluppo e sull'industrializzazione di liquidi per lucidatura CMP e prodotti chimici elettronici bagnati funzionali.Dopo 17 anni di accumulo e precipitazione, Anji Technology ha capacità di ricerca e sviluppo, produzione, supporto tecnico e controllo qualità mature e solide.

In qualità di uno dei leader del settore nei prodotti chimici elettronici umidi funzionali, Anji Technology si è concentrata sia sui processi maturi nazionali che sulle tecnologie di processo più avanzate di semiconduttori internazionali e ricerca e sviluppa le corrispondenti tecnologie chimiche funzionali per soddisfare le società di semiconduttori nazionali ed estere per tecnologie mature Per soddisfare le diverse esigenze di produzione di massa e sviluppo di processi avanzati, ci impegniamo a cercare una migliore cooperazione con clienti e partner per fornire una forte garanzia di fornitura per l'industria dei circuiti integrati.